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分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。
復合式分子泵由螺紋分子泵和盤式牽引泵組合而成,它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高,也具有牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點,擴展了分子泵的應用范圍。其廣泛應用與光伏、照明、宇航、半導體、能源、激光、電子、軍工、汽車等各個領域。
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