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本系列是由無油爪泵和無油分子真空泵串聯而成,結合了兩種泵的優點,結構緊湊,運行可靠。本單位是國內唯一家具有干式分子泵機組的廠家。由于分子泵啟動條件比較嚴格,對前級泵的極限真空度要求比較苛刻,必須在干泵真空度抽到<10Pa后,分子泵才可以啟動,這樣可以獲得較高的真空度。廣泛用于:真空實驗室等特殊無油高空度環境。用無油爪泵做前級泵,對被抽環境無污染,無返油,維護周期長,且能維持長期穩定的極限壓力。
干式分子機組ZYFJ技術參數表:
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